X射線(xiàn)熒光光譜分析在20世紀(jì)80年代初已是一種成熟的分析方法，是實(shí)驗(yàn)室、現(xiàn)場(chǎng)分析主、次量和痕量元素的首選方法之一。X射線(xiàn)熒光光譜儀（XRF）是利用原級(jí)X射線(xiàn)或其他光子源激發(fā)待測(cè)物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級(jí)X射線(xiàn)）,從而進(jìn)行物質(zhì)成分分析的儀器。X射線(xiàn)熒光光譜儀又稱(chēng)XRF光譜儀，有波長(zhǎng)色散型和能量色散型兩種，適用于測(cè)定鈹 (Be)以上的化學(xué)元素的含量。它的優(yōu)點(diǎn)是不破壞樣品，分析速度快，分析精度高，樣品制備簡(jiǎn)單。X射線(xiàn)熒光光譜儀還可以用于微區(qū)分析及確定分層和涂層的厚度和成分。

X-射線(xiàn)與物質(zhì)的交換

XRF熒光光譜儀是可以對(duì)任何種類(lèi)的樣品進(jìn)行元素分析的最好分析技術(shù)，無(wú)論分析的樣品是液體、固體、漿料還是粉末。 它是一種可靠的技術(shù)，結(jié)合了高精度和準(zhǔn)確性以及簡(jiǎn)便、快速的樣品制備等優(yōu)點(diǎn)?？梢栽谝髮?shí)現(xiàn)高處理量的工業(yè)環(huán)境下自動(dòng)完成使用準(zhǔn)備，并且提供定性和定量的樣品相關(guān)信息。

XRF熒光譜儀系統(tǒng)通常分為兩大類(lèi)：波長(zhǎng)色散型(WDXRF) 和能量色散型(EDXRF)。

EDXRF熒光光譜儀，一般由光源（X-線(xiàn)管）、樣品室及檢測(cè)系統(tǒng)等組成，與波長(zhǎng)色散型熒光光儀的區(qū)別在于他不用分光晶體及精密運(yùn)動(dòng)裝置（測(cè)角儀）。

EDXRF 光譜儀的特點(diǎn)：

• 儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單小巧，省略了精密運(yùn)動(dòng)裝置
• 沒(méi)有分光晶體
• X射線(xiàn)管功率低（一般＜50W）
• 無(wú)需昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)（空氣冷卻即可）
• 可同時(shí)執(zhí)行元素分析

優(yōu)點(diǎn)在于X射線(xiàn)利用率高，可同時(shí)檢測(cè)多元素，價(jià)格低；

缺點(diǎn)是靈敏度低、分辨率低、檢出限高（相對(duì)于WDXRF）.

WDXRF一般由光源（X-射線(xiàn)管）、樣品室、分光晶體和檢測(cè)系統(tǒng)等組成。它可以分析從鈹 (Be) 到鈾 (U) 的各種元素，濃度范圍從100 % 到低至亞ppm 級(jí)。

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